Uma banca de DEFESA de MESTRADO foi cadastrada pelo programa.
DISCENTE: JULIO CÉSAR VALERIANO DOS SANTOS
DATA: 14/02/2023
HORA: 14:00
LOCAL: Miniauditório do P²CEM
TÍTULO: ESTUDO SOBRE A FORMAÇÃO DA SOLUÇÃO SÓLIDA EM FILMES FINOS DE ZrN+Si DEPOSITADOS VIA MAGNETRON SPUTTERING REATIVO
PALAVRAS-CHAVES: filmes finos, solução sólida, ZrN, Si3N4, magnetron sputtering reativo
PÁGINAS: 44
GRANDE ÁREA: Engenharias
ÁREA: Engenharia de Materiais e Metalúrgica
RESUMO:
Filmes finos de Zr-Si-N com adição de 1,6% de Si foram depositados via magnetron
sputtering reativo e caracterizados por RBS, SEM-FEG, GAXRD, XPS e testes de oxidação
em alta temperatura, visando investigar como estruturalmente o silício é inserido na matriz de
ZrN. As análises GAXRD mostram uma redução no parâmetro de rede e no tamanho de grão
devido à incorporação de Si e as análises XPS demonstram que o Si está presente na forma
de nitreto. Tais observações sugerem a não formação de solução sólida substitucional ou
intersticial com ZrN, mas a presença de Si3N4, mesmo em baixas concentrações de Si.