Banca de DEFESA: RENATA GOMES CARVALHO
03/05/2020 16:45
O presente trabalho teve como principal objetivo a deposição de filmes finos de Nb1-xAlxN afim de verificar a influência da concentração de Al em sua microestrutura, propriedades mecânicas e resistência à corrosão destes revestimentos em comparação ao NbN puro. Os filmes finos foram obtidos através da técnica de magnetron sputtering reativo, sendo investigados com as seguintes caracterizações Espectroscopia de energia dispersiva (EDS) e Espectroscopia por Retroespalhamento Rutherford (RBS); Difração de raios X em ângulo rasante (GIXRD); Espectroscopia de Fotoelétrons Excitados por raios X (XPS); análises de Microscopia Eletrônica de Varredura em alta resolução (MEV-FEG); análises de nanodureza; testes de oxidação em altas temperaturas para amostras com concentração de Al acima de 40 at.%; análises de corrosão por polarização potenciodinâmica e Espectroscopia por Impedância Eletroquímica (EIE); análises de Microscopia Eletrônica de Varredura. Os filmes de Nb1-xAlxN foram obtidos com 0 ≤ x ≤ 60. A partir de análises de GIXRD foi possível observar que a fase cúbica B1 do NbN se mantém até a concentração de 55 at.% Al, a partir desta concentração já é possível observar características de amorfização do material, sendo o teor crítico de AlN verificado para amostras com teores de Al maiores que 60 at.%. A nucleação da fase AlN nas amostras com maiores teores de Al foi constatada também através dos cálculos de tamanho de cristalito e parâmetro de rede. Análises de XPS sugerem a formação de uma solução sólida até a concentração de 40 at.% Al, a partir das micrografias obtidas por MEV - FEG foi possível constatar a formação de grãos colunares para as amostras até 40 at.% Al, um microestrutura mais densa foi verificada para as amostras Nb0.45Al0.55N e Nb0.40Al0.60N. Os maiores valores de dureza foram verificados para as amostras Nb0.45Al0.55N e Nb0.40Al0.60N. Com relação a razão H3/E2, as amostras Nb0.45Al0.55N e Nb0.40Al0.60N foram as que apresentaram os maiores valores, iguais a 0,55 e 0,58 GPa, respectivamente. Análises eletroquímicas mostraram que o revestimento de NbN puro apresentou melhor comportamento frente a corrosão quando comparado às amostras de Nb1-xAlxN, com x ≤ 0,4. Após análises de superfície por MEV foi possível constatar que após os testes eletroquímicos todas as amostras apresentaram falhas superficiais, levando a corrosão por pites dos revestimentos. Testes de oxidação nas amostras Nb0.45Al0.55N e Nb0.40Al0.60N foram realizados nas temperaturas de 700, 800 e 900° C, o aumento da concentração de Al não influenciou de forma positiva a resistência a oxidação.
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