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Banca de DEFESA: ADICLEISON VELA DA SILVA
01/03/2013 16:49


Uma banca de DEFESA de MESTRADO foi cadastrada pelo programa.
DISCENTE: ADICLEISON VELA DA SILVA
DATA: 04/03/2013
HORA: 09:00
LOCAL: SALA 22 DO DFI
TÍTULO:

CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS POR REFLECTOMETRIA DE RAIOS X


PALAVRAS-CHAVES:

Reflectometria de raios X; Filmes finos


PÁGINAS: 63
GRANDE ÁREA: Ciências Exatas e da Terra
ÁREA: Física
SUBÁREA: Física da Matéria Condensada
RESUMO:

Este trabalho teve por objetivo estudar e compreender a técnica de reflectometria de raios X aplicada à analise de filmes finos. Nesse sentido foram escolhidos alguns filmes singulares de composição química e de espessura nominal diferenciada produzidos por dois equipamentos diferentes, todavia com a mesma tecnologia de manufatura (sputtering). Para a obtenção das curvas de reflexão foi utilizado um difratometro de raios X marca RIGAKU RINT2000, onde pequenas modificações foram necessárias à correta realização das medidas. Esses resultados foram analisados mediante duas variantes do formalismo de Parrat (PARRATT, 1954), um completo mediante a utilização do software IILXRR2013 (MACHADO, 2013) e outro simplificado onde através de uma avaliação simples das posições de Maximo na curva de reflexão em função da ordem de reflexão permite, ao menos para materiais monocamadas, uma excelente avaliação da espessura de camada. O software citado permitiu uma avaliação das possíveis rugosidades de camada, pois o mesmo possui incorporado um modelo de rugosidade (NEVOT, PARDO e CORNO, 1988). Os resultados mostraram que é possível, através de pequenas modificações experimentais obter-se uma boa avaliação de espessuras de camada em filmes diversos, extendendo seu uso como um bom qualificador de filmes finos em geral.


MEMBROS DA BANCA:
Externo à Instituição - LEONARDO CABRAL GONTIJO
Interno - 2027874 - MARCELO ANDRADE MACEDO
Presidente - 1748688 - ROGERIO MACHADO

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